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微波源如何应用于微波等离子体化学气相沉积钻石生长工艺的?

常见问题

2021-12-10 11:10:38

作者:沃特塞恩微波源

如何通过微波等离子体化学气相沉积工艺生长钻石?-人造钻石的由来

人们将微小的钻石碎片(钻石种子,即籽晶)放在硅片上,然后通过等离子加热,一段时间之后,就会得到生长成的毛坯钻石,再经过切割抛磨切形等处理工艺,将得到 需要的闪闪发光的钻石。

等离子体是物质的第四态,可以认为是很高温的气体。 实际上,如此之热,以至于分子和原子不再是气相中的唯一存在,而是一种含有离子和电子、自由基和反应性物,彼此浑浊的“汤”。

由氢和碳所组成的等离子体,会溶解钻石种子,也会创造出一个能使钻石种子长成更大钻石的环境,这个便是化学气相沉积工艺了。而一颗钻石能否生长的完美,主要取决于等离子加热的稳定性和可靠性,而等离子体的产生可以通过微波的激发。所以微波源的可靠性与稳定性就是这个工艺的必要关键了。

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沃特塞恩电子作为微波和等离子体技术的高新技术企业,沃特塞恩研制的固态功率源系统和组件可产生独具特色的高温气相等离子体,现在已广泛应用于等离子体金刚石沉积工艺。其高稳定性及高可靠性,助力了微波等离子体化学气相沉积工艺技术的前行!


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