产品中心> 微波等离子体CVD设备 > HMPS-2060P的微波等离子体CVD设备
MPcvd设备
MPCVD钻石
HMPS-2060P的微波等离子体CVD设备
HMPS-2060P的微波等离子体CVD设备

沃特塞恩旗下的和瑞微波事业部专业从事微波能、微波等离子体应用技术研发及MPCVD设备生产、具有多项自主知识产权……,我司生产的这款型号为HMPS-2060P的微波等离子体CVD设备具有以下优势特点:

. 微波反应腔新型设计,功率密度大。

. 产品沉积速率快、沉积质量高。

. 开关型微波电源,微波输出稳定性高。

. 性能先进,安全、可靠性强、重现性好,操作简便。

. 多参数实时监测、采集与记录,PLC屏幕控制,多重联锁保护。

技术规格
(1)型号HMPS-2060S
(2)电源AC380±10% V 三相五线制 50Hz,额定输入<10KVA
(3)微波输出功率0.5~6kW 连续可调
(4)功率稳定度优于2%
(5)纹波≤1%
(6)微波频率   2450MHz±50MHz
(7)测温方式     红外300~1400℃
(8)极限真空度6×10-6torr
(9)腔体内工作压力   7torr~250torr
(10)样品台 Φ60mm
(11)样品台轴向调节范围 0-60mm
(12)工作气氛五路(可用户定制)
(13)微波泄漏值 <5mW/cm2
(14)工作环境 温度15-40℃,相对湿度≤60%,无腐蚀性气体
(15)冷却水>22L/Min


应用范围

适合光学、电子、工具级金刚石膜或单晶、石墨烯等的沉积,材质表面处理、低温氧化物的生长等。


推荐产品
上一产品返回列表下一产品


My title page contents