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微波等离子体CVD设备

HMPS-9750S
915MHz | 75kW
HMPS-9750S微波等离子体CVD系统是针对市场用户需求而设计研发的一款适用于6英寸以上纳米晶一级超细纳米晶金刚石、光学级CVD金刚石窗口、CVD单晶金刚石热成片的制备的综合实验和产业化设备,
    • 精密设计
      新一代大容积下馈式大型环形工作腔,承载超大容量微波功率
    • 高稳定性
      高稳定、高功率固态或开关型微波功率源
    • 高可靠性
      进口高精度MFC,高可靠稳定压力控制系统
    • 智能控制
      智能软件控制系统,手动/自动控制
    • 风冷散热
      等离子体远离石英窗,石英窗风冷散热
    • 多重管理
      多重安全联锁,多重权限分级管理
技术指标
型号HMPS-9750S
微波频率915MHz,稳定度<±50ppm
微波功率75kwmax,10-100%连续可调,稳定度≤1%
反应腔双层水冷铝合金反应腔
钼基台≥200mm
极限真空度≤3.7x10-3Torr或≤6x10-6Torr(分子泵)
真空漏率≤5x10-10Pa.m³/s(He)
工作气压8-220Torr,±0.1Torr
气路系统H₂/CH₄/N₂/O₂ (可选CO₂),可扩展
测温系统300~1400℃(单色)或双色600~1800℃
控制系统PLC控制,手动/自动控制,多重安全联锁

应用范围
多晶金刚石批量生长
MPCVD设备适用于大面积、高品质多晶金刚石的批量制备
金刚石批量生长
MPCVD设备适合大面积与高品质单晶金刚石、多晶金刚石批量生长,
热销产品
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