| 项目 | 最小值 | 典型值 | 最大值 | 单位 |
|---|---|---|---|---|
| 频率 | 2450 | MHz | ||
| 频率误差 | ±50 | ppm | ||
| 微波泄露 | 2 | mW/cm² | ||
| 功率稳定度 | 1 | 3 | % | |
| 输出功率范围 | 10000 | W | ||
| 输出功率调节范围 | 10 | 10000 | W | |
| 整机效率 | 58 | % |
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电源输入（Power）：三相五线制交流，线电压380V，频率50-60HZ，每相最大电流16A；
RF输出接口：BJ26波导；
控制接口(Opration)：DB9、RJ45；
进/出水口：3/4"内螺纹（功放部分）1/2"内螺纹（电源部分）；
控制：设备工作状态和参数设置，可远程查看工作状态信息，可远程配置工作参数；
报警：输出功率、驻波、电流、温度，可远程查看报警信息；
保护：输出驻波比过大、过温、过功率、过电流，系统自动关断射频输出；
MPCVD,等离子体材料生长、清洗，工业材料处理、加热，大功率微波光源，粒子加速
