在等离子体作用下，耐火塑料表面出现一些活性原子、自由基和不饱和键。这些活性基团将与等离子体中的活性粒子发生反应，形成新的活性基团。

微波加热则属于内部加热方式，电磁能直接作用于介质分子转换成热，且透射性能使物料内外介质同时受热，不需要热传导，而内部缺乏散热条件，造成内部温度高于外部的温度梯度分布

目前已经得到了人体组织的介电特性及各种组织器官在不同频率下的介电常数、介电损耗。当组织病变时，其形态或结构发生变化，用微波技术​测量这些介电特性的变化可用作诊断疾病的基础。

等离子刻蚀即是利用气压为10～1000帕的特定气体（或混合气体）的辉光放电，产生能与薄膜发生离子化学反应的分子或分子基团，生成的反应产物是挥发性的。它在低气压的真空室中被抽走，从而实现刻蚀

微波法诊断等离子体特性是实际诊断中常用的方法。在微波法诊断等离子体特性时，被诊断的等离子体特性不会被微波所干扰，故测得的数据比较精确。