在微电子工业，等离子体刻蚀和气相沉积应用得十分广泛，那么，微波激发等离子体​的形式有几种呢？

微波是等离子体产生的方法之一，微波等离子体无电极、大体积、运行气压宽、低能耗、高效率和低成本等优点，其等离子体发生室和处理室可分合，工艺灵活

微波等离子体大气压环境下产生的一种微等离子体,它被广泛应用于气相色谱中原子发射光谱激发源。微波带技术的使用不仅可以将微波精确指向间隙区,同时也减少了不必要的外空间辐射损失,有利于耦合效率的提高,从而获得高密度等离子体。

微波等离子清洗技术作为一种精密千法清洗技术，可以有效去除这些污染物，改善材料表面性能，增加材料表面能量

影响微波杀菌效果的因素主要有两个方面：食品的介电性质对杀菌效果的影响，微波的功率、处理时间和温度