微波等离子体清洗技术的原理是在真空腔内压力到达一定范同时充入工艺气体。当腔内压力为动态平衡时，利用微波源​振荡产生的高频交变电磁场将氧、氩、氢等工艺气体电离，生成等离子体，活性等离子体对被清洗物进行物理轰击与化别是半导体。

微波有一个重要的特点就是其具有极强的穿透能力。 微波比其它用于辐射加热的电磁波，如红外线、远红外线等波长更长，因此具有更好的穿透性。比如微波的波长是红外波长的近千倍。红外加热只是表面加热，微波是深入内部加热。

微波应用的范围是极为广泛的，频率范围也大，除了通信领域，分给工业、科学和医学用的频率有 433 MHz、915MHz、2450MHz、5800MHz、22125MHz

微波源是指可以产生微波能量的设备称为微波源。不同的应用需求，需要不同频率和不同功率的微波能量。目前，市场上比较流行是半导体微波源和磁控管微波源

固态微波功率器件，也就是半导体电子器件，固态微波功率器件具有体积小、噪声低、稳定性好的优点。