微波源是指可以产生微波能量的设备称为微波源。不同的应用需求，需要不同频率和不同功率的微波能量。目前，市场上比较流行是半导体微波源和磁控管微波源

固态微波功率器件，也就是半导体电子器件，固态微波功率器件具有体积小、噪声低、稳定性好的优点。

固体化的微波功率源称为固态微波源。功率不断提高、频率不断增加是半导体器件发展的两个重要方面,目前已有多种半导体器件可在微波领域提供可观的功率,可构成固态微波源。

沃特塞恩电子作为微波和等离子体技术的高新技术企业，沃特塞恩研制的固态功率源系统和组件可产生独具特色的高温气相等离子体，现在已广泛应用于等离子体金刚石沉积工艺。其高稳定性及高可靠性，助力了微波等离子体化学气相沉积工艺的前行！

微波能量是由微波发生器产生的，微波发生器可以是一种晶体管,大功率则是电子管。