微波是等离子体产生的方法之一，而固态微波源也是产生微波能量的设备之一，微波等离子体具有无电极、大体积、运行气压宽、低能耗、高效率和低成本等优点。

目前，微波等离子体的应用范围包括以下领域：

1)纳米材料制备：石墨烯、碳纳米管、富勒烯、金刚石膜等。

2)材料改性：高聚物，纺织品。

3)半导体工业：新半导体材料、亚微米刻蚀。

4)镀膜：pvd,cvd镀膜。可采用ECR方式。

5)材料制备：发泡金属材料。

6)电子领域：LCD等电子零部件表面清洗。

7)食品、医药化妆品工业有效成分微波萃取。

8)植物种子、微生物菌改性，微波辅助催化。

9)光学：平板显示。

10)环保：废烟、废气、废水处理。

11)医药领域：医疗器材回低温消毒。