根据国际上的相关规定，MPCVD设备可使用的微频率有245GHz和915GHz两种，对比两种不同频率的微波，915GHz频率的微波波长更长，产生的等离子体球更大，故而所需的微波更高，且可沉积的金刚石膜真径更大，其有效沉积直径约是245GHz微波的2.67倍，基于上述优势，915GHz频率的MPCVD设备可大大提高金刚石的沉积效率，降低了金刚石材料的制备周期和成本，对工业界极具诱惑力，但915GHz的MPCVD设备由于所需的功率更高，设备的结构和细节也更为复杂，这对装置的研发，加工制造技术以及成本提出了更高的要求。目前，245GHz和519GHz频率的MPCVD设备都有批量制备单晶金刚石的报道，但由于金刚石的沉积环境十分苛刻，为了避免因等离子体的刻蚀石英而造成的污染，石英管和石英钟罩式MPCVD设备现在很少被采用。