| 项目 | 最小值 | 典型值 | 最大值 | 单位 |
|---|---|---|---|---|
| 频率 | 2450 | MHz | ||
| 频率误差 | 50 | ppm | ||
| 微波泄露 | 2 | mW/cm² | ||
| 功率稳定度 | 1 | 3 | % | |
| 输出功率范围 | 200 | 20000 | W | |
| 输出功率调节步进 | 1 | W | ||
| 输出相移（可选） | 0 | 360 | ° | |
| 相位调节步进（可选） | 5.6 | ° | ||
| 输出驻波 | 1.5 | 3 | ||
| 输出谐波 | -40 | dBc | ||
| 输出杂散 | -45 | dBc | ||
| 输出阻抗 | 50 | Ω | ||
| 工作温度 | 0 | 40 | ℃ | |
| 整机效率 | 30 | % | ||
| 脉冲调制 | 可选 | |||
| 冷却方式 | 水冷 |
远程通讯控制 RS232RS485以太网
本地通讯控制 LCD显示
连续波
脉冲波
连续波和脉冲波
控制：设备工作状态和参数设置，可远程查看工作状态信息，可远程配置工作参数；
报警：输出功率、驻波、电流、温度，可远程查看报警信息；
保护：输出驻波比过大、过温、过功率、过电流、过电压，系统自动关断射频输出；
循环水冷
进水温度：+5～+25℃
水流量：32L/MIN
MPCVD（微波化学气相沉积）
工业加热、干燥
工业固废处理（煤灰固化、废液处理）
微波烧结
光纤预制棒
