2026-02-26
喜讯！沃特塞恩再获“2025年度四川省重大技术装备首台套产品”认定
公司新闻 来源:公司新闻 作者:沃特塞恩微波源

近日，四川省经济和信息化厅公布2025年度四川省重大技术装备首台套、新材料首批次、软件首版次认定名单，成都沃特塞恩电子技术有限公司（以下简称“沃特塞恩”）自主研发的“固态微波远程等离子体系统”成功入选，标志着该产品在技术创新性、产业应用价值及市场竞争力方面获得省级权威认可。这是沃特塞恩继2025年9月工业级固态功率源WSPS系列产品获“成都工业精品”认定后，再次斩获省级重大技术装备领域殊荣。


首台套、首批次、首版次产品认定，是四川省经济和信息化厅、四川省财政厅为贯彻落实国家及省级相关政策，推动产业基础高级化和产业链现代化、深化供给侧结构性改革而开展的重要工作。该认定要求产品具备创新性、技术先进性，并拥有自主知识产权，旨在鼓励企业积极开展创新研制，是衡量企业核心竞争力的重要标志。

远程等离子体源

固态微波远程等离子体源系统（RPS）是光刻胶去除、原子层沉积、腔体清洗、材料干法清洗、材料改性等先进制程中的关键核心装备，长期依赖进口。沃特塞恩自主研发的该产品采用全固态微波技术，将等离子体激发与反应腔分离，在保证高电离率、低损伤的同时，大幅提升工艺均匀性与洁净度，有效降低高能粒子对晶圆与精密器件的轰击损伤，适配先进半导体、光电子、新材料等高端制造场景。

相较于传统常规等离子体源，该装备具备稳定性高、灵活适配、智能调控、维护成本低等显著优势，可实现对进口同类设备的替代，助力产业链解决“卡脖子”环节。

此次认定是对沃特塞恩团队技术攻关成果的肯定，也为该产品市场化推广、进入重大工程与头部供应链提供有力支撑。

未来，沃特塞恩将以此为契机，继续深耕固态射频/微波技术在半导体领域的应用，致力于为全球客户提供更先进、更可靠的等离子体解决方案，为推动‘四川造’高端装备走向全国、走向世界贡献力量。
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