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自匹配固态射频电源-500W

沃特塞恩自匹配系列射频电源将射频电源+自动匹配器整合于同一装置内,为客户节约了安装空间,增加更广的适配应用范围。内置的高速自动匹配器可以实现快速自动匹配,具有高工作稳定性,高精度功率调节及快速匹配负载等功能,可为用户减少设备研制周期。专业应用于半导体、光伏、封装、等离子体清洗、科研等领域。

> 全数字化控制(内置高速数字控制模块)

> 快速自动匹配(Auto match)

> 高精度、稳定功率输出

> 快速输出功率响应

技术参数

项目

通用指标

频率

2MHz/13.56MHz/27.12MHz/40MHz/60MHz

频率误差

0.005%

额定输出功率

500W

输出功率接范围  

10-500W

功率步进

1W

功率重复性(同一电源)

±1%

整机效率(额定功率下)

60%

散热方式

风冷散热

通信接口

Analog/Ether CAT/RS232/RS485/Ether NET/local

功率模式  

Forward power;load power


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工作模式

连续波

应用范围

PECVD薄膜沉积

ICP/CCP干法刻蚀

等离子清洗

材料改性


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