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射频电源
固态射频电源

沃特塞恩研发的这款13.56MHz/3kW全固态射频电源采用全固态射频功放技术,工作频率范围为13.56MHz,功率范围从2W至3KW,是为半导体生产制造新一代功率源。其主要由电源模块、射频发生器、射频放大器、控制系统、接口模块以及冷却装置等6大部分构成。

沃特塞恩固态射频电源具有能耗低、体积小、寿命长、性能稳等优点。

> 频率源采用 DDS 直接数字频率合成技术,频率稳定度高;

> 射频电源有着很好的功率稳定度;

> 适应多种驻波比的负载;

> 拥有完善的保护电路,保证射频电源可靠运行;

> 电源功放使用贴片型半导体三极管制作,寿命比传统分立式三极管更长;

技术参数

项目

特征

频率调整范围

13.56MHz±5%

频率稳定度

±50ppm

输出功率调节范围

2W-3000W连续可调,步进0.1W

射频开关幅度过冲持续时间  

0.1mS

射频开关幅度过冲

±1%

脉冲信号重频

10Hz-100kHz,步进1Hz;脉宽5μS-90mS

脉冲信号占空比

5%-95%,步进1%可调;边沿< 2μS

整机效率(额定功率下)

60%

谐波抑制

≤-50dBc

杂散抑制

≤-50dBc

幅度稳定度

≤±0.1%


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应用范围

半导体工业方面如等离子体刻胶、等离子蚀刻 、 RIE、平行板、ICP、射频溅射、CVD和PVC等系统、等离子清洗、PECVD、板条射频激光源等

外形尺寸

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