| 项目 | 最小值 | 典型值 | 最大值 | 单位 |
|---|---|---|---|---|
| 频率 | 2450 | MHz | ||
| 频率误差 | 50 | ppm | ||
| 微波泄露 | 2 | mW/cm² | ||
| 功率稳定度 | 1 | 3 | % | |
| 输出功率 | 30000 | W | ||
| 输出功率调节范围 | 100 | 30000 | W | |
| 工作温度 | 5 | 40 | ℃ | |
| 整机效率 | 35 | % |
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连续波
脉冲波
连续波和脉冲波
控制：设备工作状态和参数设置，可远程查看工作状态信息，可远程配置工作参数；
报警：输出功率、驻波、电流、温度，可远程查看报警信息；
保护：输出驻波比过大、过温、过功率、过电流、过电压，系统自动关断射频输出；
微波等离子体化学气相沉积，工业微波加热，工业微波干燥，工业固废处理（煤灰固化、废液处理），微波烧结，光纤预制棒
