3月17日至19日，SEMICON China 2021国际半导体展在上海新国际博览中心成功举办。本次展会主题为“跨界全球·心芯相联”，汇集业内一千一百余展商交流洽谈最新技术及市场动向，彰显了国际市场对中国半导体产业发展前景的信心，有利于推动中国半导体产业链创新成长。

在疫情防控还未结束的非常时期，作为微波射频行业高新技术企业，成都沃特塞恩怀着振兴民族产业的决心与信念，携公司研制的最新一代固态功率源1.5kW/3kw/6kW分体式固态功率源、固态微波远程等离子体源等展品奔赴展会，吸引了国内外相关厂商和参会人员的重点关注、询问和洽谈，并纷纷对公司产品表示了充分的认可和肯定。

固态功率源系列产品

沃特塞恩固态微波功率源是专业应用于ISM领域的固态微波能量设备，采用全固态方案设计，PLL锁相技术，频率稳定度高；功率放大器内置环形器和负载，适应多种驻波比的负载；拥有完善的保护电路，保证功率源的可靠运行。

固态微波远程等离子体源

沃特塞恩固态微波远程等离子体源（SSMWRPS）由等离子体放电腔、高效率固态微波源、微波传输及调配器组成。得益于SSMWRPS的特殊结构，等离子体在反应区之外的等离子体放电腔中被激发，在保证高电离率与低重组率的同时，提供高浓度、低温度、更均匀的活性自由基。有效的降低了电子、离子等高能活性离子对材料表面的轰击损伤；工艺过程中活性自由基占主导地位，得到更好的反应均匀性，减少工艺污染，是半导体干法处理的优秀方案。

成都沃特塞恩作为一家专注于射频能量应用的高新技术企业，我们专业从事基于半导体功率器件的全固态功率源的研发、生产和销售，同时提供射频能量在ISM领域应用的解决方案和技术服务。主要研发生产可用于干法刻蚀、去胶设备的微波源等离子体源、半导体设备专用固态源、等离子体发生系统、ISM领域50W-30KW固态微波源等系列产品。

 面对充满机遇和挑战的市场关键期，成都沃特塞恩会继续不断提升自主研发的创新能力和科研水平，以创新驱动发展、以科技引领转型，助力半导体产业的发展。

展会现场图