固态功率源常见问题集锦,这里为您解答关于固态微波源产品的所有疑虑...
微波等离子体CVD(Microwave PCVD, MPCVD)将微波发生器产生的微波用波导管经隔离器进入反应器,并通入CH4与H2的混合气体,在微波的激励下,在反应室内产生辉光放电,使反应气体的分子离化,产生等离子体,在衬底上沉积得到金刚石膜
如果ESD(静电放电)或基板热暴露是主要问题,考虑用微波等离子体;如果你正在处理无机物,考虑用射频等离子体
由于微波的频率与分子转动的频率相关连,因此微波能是一种由离子迁移和偶极子转动而引起分子运动的非离子化辐射能,当它作用于分子时,可促进分子的转动运动
基于微波等离子体的MPCVD-CVD是一种新型的合成金刚石制备方法。它主要以甲烷(CH 4)的含碳气体作为碳源。前体的分解和金刚石层的沉积是通过高功率的高频率(2.45GHz)的微波源激励产生的等离子体的作用而发生的
微波杀菌是利用了电磁场的热效应和生物效应共同作用的结果。微波对细菌的热效应是使蛋白质变性,使细菌失去营养、繁殖和生存的条件而死亡。