沃特塞恩提供的固态微波远程等离子体源系统【RPS】引进了德国领先的等离子体技术，主要由AC-DC电源、3kW固态微波源、远程等离子腔、微波传输波导及隔离器组成。

因固态微波远程等离子体源【RPS】的特殊结构，等离子体在反应区之外的等离子体放电腔中被激发，在保证高电离率与低重组率的同时，为用户提供高浓度、低温度、更均匀的活性自由基。有效的降低了电子、离子等高能活性离子对材料表面的轰击损伤，活性自由基对样品的作用占主导地位，有效控制反应均匀性，减少污染，是干法处理半导体材料的更优秀的方案。

> 采用最新技术的固态微波源，频率、功率稳定性高，使用寿命长，无需更换磁控管耗材

> 等离子体放电腔材质可选，可适用各种气体

> 体积小、集成度高、便于更换

> 独特的放电腔设计，负载匹配度高，反射功率小，低于1%

> 系统运行气压适应范围广

> 电离率高、电离速度快

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