微波等离子体气相沉积（MPCVD）的优点是表现其在等离子体的能量是由微波能量来维持的，因而在放电过程中不使用金属电极，可避免其他CVD沉积方法中因使用金属电极而造成的污染，另外MPCVD法的气体放电区非常集中，不仅能产生高密度的等离子体，激发更多的活性基团，而且其放电过程极为稳定，这些优点都有助于高质量金刚石长时间的稳定生长，也正是这些优点一直是国内外制备高质量金刚石单晶和光学级多晶的首选方法。