微波等离子清洗机的清洗原理是在真空腔体里，通过微波源在一定的压力情况下激励产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品表面，以达到清洗目的。其优点有以下几点：

1、不会侵蚀被清洗材料

2、不会污染物沉积（二次污染）

3、不会产生电子破坏（低偏置电压）

4、清除干净则自动停止反应

沃特塞恩2.45GHz固态微波源，目前1Kw/1.5Kw/2Kw/3Kw等功率大小的微波源产品已经广泛用于微波等离子清洗机设备类，并取得了客户的一致好评。