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  • 产品名称: 固态射频电源

固态射频电源常见的型号包括2MHZ, 13.56MHZ ,27MHZ 64MHZ,最常应用于等离子加工。我们可以根据客户的需要,提供1 KW,3KW,10KW,20KW等的不同功率等级设备。

 

产品特性:

 

  • 频率稳定度±3%

 

  • 宽负载适应能力

 

  • 优越的可靠性能

 

应用范围:

 

    应用于所有等离子加工,包括PECVD,HDPCVD,PVD,ALD 和集成电路,太阳能电池,平板显示器,LED,数据储存设备的制造

 

技术参数表:

 

型号
 

详细指标

(点击查看)

频率
(MHz

输出功率
(W

供电电压
(V

效率
(%

散热方式
 

WSPS-13.56-1000

13.56

1000

220V

65

风冷

WSPS-13.56-3000

13.56

3000

220V

65

水冷

WSPS-27-1000

27

1000

220V

65

风冷

WSPS-27-3000

27

3000

220V

65

水冷

WSPS-64-1000

64

1000

220V

65

风冷

WSPS-64-3000

64

3000

220V

65

水冷

WSPS-162-1000

162.5

1000

220V

65

风冷

WSPS-162-3000

162.5

3000

220V

65

水冷

WSPS-325-800

325

800

220V

60

风冷

WSPS-325-1500

325

1500

220V

60

水冷

WSPS-325-3000

325

3000

220V

60

水冷

WSPS-433-100

433

100

28V

65

风冷