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  • 产品详细介绍: 固态射频电源常见的型号包括2MHZ, 13.56MHZ ,27MHZ 和64MHZ,最常应用于等离子加工。我们可以根据客户的需要,提供1 KW,3KW,10KW,20KW等的不同功率等级设备。 产品特性: 频率稳定度±3% 宽负载适应能力 优越的可靠性能 应用范围:     应用于所有等离子加工,包括PECVD,HDPCVD,PVD,ALD 等和集成电路,太阳能电池,平板显示器,LED,数据储存设备的制造 技术参数表: 型号  详细指标(点击查看)频率 (MHz) 输出功率 (W) 供电电压 (V) 效率 (%) 散热方式  WSPS-13.56-100013.561000220V65风冷WSPS-13.56-300013.563000220V65水冷WSPS-27-1000271000220V65风冷WSPS-27-3000273000220V65水冷WSPS-64-1000641000220V65风冷WSPS-64-3000643000220V65水冷WSPS-162-1000162.51000220V65风冷WSPS-162-3000162.53000220V65水冷WSPS-325-800325800220V60风冷WSPS-325-15003251500220V60水冷WSPS-325-30003253000220V60水冷WSPS-433-10043310028V65风冷
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