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微波等离子体的应用优势有哪些?

作者:未知来源:转自互联网 日期:2017年7月27日 15:32
        目前,低温等离子体(温度为2000~50000K)已得到广泛应用,工业上已成为一种重要的工艺手段,等离子体化学已成为一个十分活跃的新领域。在微电子工业,等离子体刻蚀和气相沉积应用得十分广泛。低温等离子体已逐渐渗透到很多领域,展示了广阔的前景。
      而用微波激发等离子体有如下几点应用优势:
        . 有较高的电离和分解程度
        . 电子温度和离子温度对中性气体温度之比非常高,运载气体保持合适的温度。这个特性,在气相沉积的情况下,可使基底的温度不会过高。
        . 能在高气压下维持等离子体。
        . 没有内部电极,在等离子容器内,没有工作气体以外的任何物质,是洁净的,无污染源。等离子发生器可以保持长寿命。
        . 等离子可以采用磁约束的方法,约束在约定的空间内,微波结和磁路可以兼容。
        . 安全因素高。高压源和等离子体发生器互相隔离,这是直流等离子体不能达到的。微波泄漏小,容易达到辐射安全标准。这是高频感应等离子体难以达到的。
        . 微波发生器是稳定的,善于控制的。
        .  微波等离子体,在很多情况下都比较宁静,不会出现很高的噪声级

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该资讯的关键词为:微波源  微波发生器  等离子  微波等离子