目前国内先进的等离子体设备中应用的射频电源，其主要技术性能（如输出功率、频率，阻抗匹配网络等）已和国外同类电源无甚差别，但在自动化水平上，体积上以及应用范畴方面还是有一定的差距。因而，要跟上国际水平，还要进行以下一些工作:
1、如今国内的射频电源采用的都是电子管、晶体管混合电路，体积较大，在一些对体积有要求的地方，限制了它的应用。因此需要采用新兴的技术、新型的元器件，使射频电源固态化，更小型化。
2、阻抗匹配网络是正确运用好射频电源的重要部件。在国外，阻抗自动匹配网络已产品化，除了局部溅射、淀积设备依旧使用外，其它等离子体设备，特别是RIE都已装备上自动的阻抗匹配网络，从而使设备更趋于完善。目前国内在这方面还是手动的，固然在一般状况下能够满足工艺请求，但操作时人却丝毫不能离开，稍不留意仍会匹配不好。用自动匹配取代手动也是目前需要解决的工作在重点之一。
3、开扩射频电源的应用范畴，研制多性能、多种类的射频电源，如宽频带电源、微波电源等,为电源的发展开创新的道路,沃特塞恩一直专注于此。
4、为了较快地赶上国际化水平，引进国外的先进技术，依据我国目前的现状，对电源进行改造、更新是发展射频电源的最快途径。
