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wattsine:国内射频电源行业技术水平现状分析

作者:未知来源:中国产业洞察网 日期:2017年1月4日 16:31
    目前国内先进的等离子体设备中应用的射频电源,其主要技术性能(如输出功率、频率,阻抗匹配网络等)已和国外同类电源无甚差别,但在自动化水平上,体积上以及应用范畴方面还是有一定的差距。因而,要跟上国际水平,还要进行以下一些工作:

  1、如今国内的射频电源采用的都是电子管、晶体管混合电路,体积较大,在一些对体积有要求的地方,限制了它的应用。因此需要采用新兴的技术、新型的元器件,使射频电源固态化,更小型化。

  2、阻抗匹配网络是正确运用好射频电源的重要部件。在国外,阻抗自动匹配网络已产品化,除了局部溅射、淀积设备依旧使用外,其它等离子体设备,特别是RIE都已装备上自动的阻抗匹配网络,从而使设备更趋于完善。目前国内在这方面还是手动的,固然在一般状况下能够满足工艺请求,但操作时人却丝毫不能离开,稍不留意仍会匹配不好。用自动匹配取代手动也是目前需要解决的工作在重点之一。

  3、开扩射频电源的应用范畴,研制多性能、多种类的射频电源,如宽频带电源、微波电源等,为电源的发展开创新的道路,沃特塞恩一直专注于此。

  4、为了较快地赶上国际化水平,引进国外的先进技术,依据我国目前的现状,对电源进行改造、更新是发展射频电源的最快途径。

 
 
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所属类别: 行业新闻

该资讯的关键词为:等离子体  射频电源  微波电源  沃特塞恩  元器件  固态微波源 

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