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等离子体表面材料灰化/剥离: 用射频还是微波?

作者:IES Technical来源:互联网 日期:2017年6月21日 16:22

如果ESD(静电放电)或基板热暴露是主要问题,考虑用微波如果你正在处理无机物,考虑用射频。详细比较参照下表

 

 

射频等离子体灰化/剥离

微波等离子体灰化/剥离

过程类型

化学、物理等离子的结合,温度结合

主要通过电中性自由基进行化学蚀刻

选择性

各项异性

各项同性

流率(在压盘上)

中等

流率(在架上)

流率(在弹仓里)

开槽 - 中等

已关闭 -

均匀度

在架上-好

一般使用旋转台或ECR腔改善

开槽弹仓-合理

样本自适应偏置


紫外光辐射度

中等~高

低~零辐射度

衬底加热

中等~

~

等离子体室电极

架上的样品处理

弹仓里的样品处理

是,开槽

是,开槽或关槽

有机物的去除

无机物去除

所属类别: 常见问答

该资讯的关键词为:微波  射频  射频等离子  微波等离子  物理等离子  沃特塞恩 

下载附件2017中文产品图册 2450MHz-5KW-固态微波源规格书